千葉工業大学 プロジェクト研究年報 2014年版
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1.はじめに 放電プラズマフォーラムは,放電プラズマに関心を持ち研究を行っている本学教員と学外の研究協力者が,個々の専門分野での放電プラズマとの関わり,これに関する学会や産業界の動向,トピックなどについて情報交換を行うことを目的に活動し,構成員間での意見交換を実施した。その結果,放電プラズマに関する物理化学,基礎過程,シミュレーション,表面反応,気相反応,応用技術などの分野において,情報の共有ができた.本報告では主な研究成果を記し,研究報告とする. 2.研究成果 2.1 誘電体バリア放電用電極材料の二次電離係数 誘電体電極の放電開始電圧Vsを測定し,タウンゼントの自続条件式から二次電離係数γを決定した.これまでVsの決定にあたり放電の安定化,誘電体電極上の蓄積電荷の影響を取り除く方法について検討した.更に,放電を経験していない誘電体電極の第1回の放電から,放電を繰り返して定常状態になるまでの放電開始電圧Vsの変化に注目し,放電発生ごとの蓄積電荷に注目しながらγの変化を調べた(1)。 今回は同じ材料で表面状態として表面粗さを変えた場合に,二次電離係数γがどのように変化するか検討した.その結果,表面粗さが粗いとγは小さくなる結果が得られた.そして,どの表面粗さにおいても放電の繰り返しにより,換算電界E/p0は低い値に移動し,γは大きくなる結果となった.したがって,誘電体電極で起きている二次電子放出は,金属電極から放出される二次電子放出と違い,誘電体電極表面に蓄積した電子の再スタート現象と考えられることを示した(2). (1)S.Suzuki, Y.Kashiwagi, and H.Itoh: “Measurement of Secondary Ionization Coefficient on CaO Film Electrode”, Eur. Phys. J. Appl. Phys., 61, 2, 24313(7 pages) (2013) (2)鈴木,伊藤:“誘電体電極の表面状態と二次電離係数”,平成26年電気学会全国大会講演論文集, 1-41(2014) 2.2 励起活性種の反応速度係数の測定 大気汚染物質を放電プラズマにより分解除去する技術が展開されているが,Air plasma 中での主たる反応活性種の一つに窒素の準安定励起分子N2(A3Σu+)がある.この分子と大気汚染物質との反応速度係数を調べているが,近年の環境問題に関連した揮発性有機化合物や温室効果ガス等の大気汚染ガスによるN2(A3Σu+)の衝突脱励起反応速度係数のデータは殆どないのが実情である.そこで,今回はスチレンについて調べた.得られた衝突脱励起反応速度係数は(1.6±0.9)×10-9 cm3/sとなり(1),これまで測定してきたガスの中で,キシレン,酢酸エチルに次いで大きな値であることがわかった(2). (1) S. Suzuki and H. Itoh:“Collisional quenching rate coefficient of metastable nitrogen molecules N2(A3Σu+) by styrene”, presented at XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (Greifswald, Germany) (2014) (2) S. Suzuki, Y. Koizumi and H. Itoh: “Determination of collisional quenching rate coefficients of N2(A3Σu+) by air pollutants”, XXXI International Conference on Phyenomena in 研究項目: フォーラム 研究期間: 2013/4/1 ~ 2014/3/31 研究課題名(和文): 放電プラズマの基礎研究と応用 研究課題名(英文): Fundamental Research and Application of Discharge Plasma 研究者:(○;研究代表者) ○鈴木 進 千葉工業大学 伊藤 晴雄 千葉工業大学 SUZUKI Susumu 工学部 教育センター 教授 ITOH Haruo 工学部 電気電子情報工学科 教授 小田 昭紀 千葉工業大学 佐藤 考紀 室蘭工業大学 ODA Akinori 工学部 電気電子情報工学科 教授 SATOH Kohki 工学部 電気電子工学科 教授 明石 治朗 防衛大学校 寺西 研二 徳島大学 AKASHI Haruaki 理工学専攻 応用物理学科 准教授 TERANISHI Kenji 大学院ソシオテクノサイエンス研究部 柏木 康秀 木更津工業高等専門学校 エネルギーシステム部門 KASHIWAGI Yasuhide 電気工学科 准教授 エネルギー応用工学大講座 准教授 2014 千葉工業大学附属総合研究所 プロジェクト研究年報          Project Report of Research Institute of C.I.T 2014      100

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